Astudiaeth Achos: SPTS Technologies Ltd.

Estyn dealltwriaeth o weithrediad crafanc electrostatig i wella prosesu wafferi

Mae is-adran SPTS KLA yn darparu datrysiadau prosesu wafferi lefel uwch ar gyfer gweithgynhyrchwyr blaenllaw lled-ddargludyddion a dyfeisiau microelectronig y byd. Mae’r galw cynyddol am ddyfeisiau lled-ddargludyddion yn gyrru’r galw am gyfarpar prosesu wafferi. Ymhlith cymwysiadau marchnad terfynol cyfarpar prosesu wafferi KLA mae systemau electrofecanyddol micro (MEMS), pecynnu lefel uwch, ffotoneg, ICs RF cyflymder uchel, a lled-ddargludyddion pŵer.

Mae’r grafanc electrostatig (ESC) yn gydran allweddol mewn cyfarpar prosesu wafferi mewn gwactod. Yn ogystal â’i gyflenwi fel rhan o’r cyfarpar, mae galw cynyddol am ESCs amnewid hefyd yn y farchnad ôl-werthu. I gynnal cyflenwad o ESCs ansawdd uchel, mae angen sicrhau dealltwriaeth fanwl o’u nodweddion gweithredu a’r moddau methiant posibl.

Mae’r Grafanc Electrostatig (ESC) yn cynnwys haenau cerameg uwch wedi’u gosod ar gorff metel. Cysylltir electrodau â’r cerameg i gynhyrchu’r gwefriad. Mae silicon RTV rhwng yr haenau yn darparu cyswllt thermol da, ac yn gwneud iawn am y gwahaniaethau o ran ehangu thermol.

Her:

Deall yn llawn weithrediad yr ESC a nodi’r moddau methiant posibl, er mwyn sicrhau integriti wrth ei ddefnyddio a chefnogi datblygiadau yn y dyfodol ar gyfer monitro amser go iawn.

Datrysiad:

Mae tri sefydliad ASTUTE EAST yn cydweithio i werthuso gweithgynhyrchu a gweithrediad y grafanc electrostatig (ESC).

Bydd model cyfrifiadurol o’r ESC yn cael ei ddatblygu i ail-greu ei weithrediad, ac i efelychu amodau methiant.

Cynhelir Dadansoddiad Modd ac Effaith Methiant (FMEA) i ganfod a blaenoriaethu’r moddau methiant a nodwyd.

Ar gyfer datblygiadau i’r dyfodol, edrychir ar botensial cysylltu dyfeisiau Rhyngrwyd Pethau Diwydiannol (IIoT) â’r cyfarpar o safbwynt dadansoddeg amser go iawn a gwybodaeth lefel uwch am fethiant.

Effaith:

Bydd effaith y prosiect yn galluogi KLA i barhau’n gystadleuol yn y farchnad hon sy’n tyfu’n gyflym, gyda photensial i ddarparu diagnosteg lefel uwch i’w cwsmeriaid a’u peirianwyr maes.